CS330質(zhì)量流量控制器是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品，*高流量可達(dá)200SLM氮?dú)猓⒖蓪崿F(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機(jī)器人金屬表面拋光技術(shù)，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強(qiáng)腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應(yīng)速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點(diǎn)，并支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。
查看詳細(xì)介紹
CS200H質(zhì)量流量控制器是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品，其電氣和機(jī)械部分采用分體式的設(shè)計，通過高溫線纜連接，可以實現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體測量需求。
查看詳細(xì)介紹
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
查看詳細(xì)介紹
DS300質(zhì)量流量控制器是針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。
查看詳細(xì)介紹
CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數(shù)字傳感器平衡技術(shù)，VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上，采用客戶定制化設(shè)計，客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品，同時其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能（CGC），能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題，使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
查看詳細(xì)介紹
D07-23FM質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-23F產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應(yīng)時間快的模擬產(chǎn)品。
查看詳細(xì)介紹
